特許
J-GLOBAL ID：200903078028273813
表面伝導型電子放出素子、電子源、画像形成装置、及びこれらの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
豊田 善雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-336995
公開番号（公開出願番号）：特開平8-185793
出願日： 1994年12月27日
公開日（公表日）： 1996年07月16日
要約：
【要約】【目的】 表面伝導型電子放出素子を複数用いた電子源において、各素子の電子放出特性を安定化し、且つ素子毎のムラのない均一な放出特性を得る。【構成】 絶縁性基板1上にグラファイトからなる炭素膜6を形成し、該炭素膜6上に一方の素子電極4と、絶縁性基板1に直接もう一方の素子電極5を形成し、該素子電極を連絡して導電性薄膜3を形成し、通電処理して電子放出部2を形成した後、アセトンガスを導入し、該雰囲気下で上記導電性薄膜3に通電して炭素及び炭素化合物を電子放出部に堆積させる。
請求項（抜粋）：
絶縁性基板上に対向して設けられた一対の素子電極と、該素子電極間に形成された、電子放出部を有する導電性薄膜と、上記素子電極の一方の上部或いは下部に配設された、炭素ないし炭素化合物或いはそれらの混合物からなる炭素膜と、からなり、少なくとも該電子放出部が炭素及び炭素化合物を有することを特徴とする表面伝導型電子放出素子。
IPC (5件)：
H01J 1/30
, G09F 9/313
, H01J 9/02
, H01J 31/12
, H01J 31/15
