特許
J-GLOBAL ID：200903078029386379
絶縁膜付き球状粒子の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 静男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-286516
公開番号（公開出願番号）：特開平8-143312
出願日： 1994年11月21日
公開日（公表日）： 1996年06月04日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】緻密で膜厚の厚い絶縁膜を有し、液晶表示装置用スペーサーとして好適な絶縁膜付き球状粒子。【構成】金属酸化物球状粒子を中級アルコール主体アルコール系溶媒に分散して粒子の分散液を得、アルカリ水溶液を添加して、粒子の表面を活性化して、粒子表面に酸化チタン膜を形成させて(酸化チタン膜付き球状粒子)(A)を得る。粒子Aを中級アルコール主体アルコール系溶媒に分散して分散液を得、アルカリ水溶液を添加して酸化チタン膜の表面を活性化させ、(シリコンアルコキシドまたはその部分加水分解物)(C)を添加して加水分解、脱水、縮合させて、得られた(酸化チタン膜-シリカ膜付き球状粒子)(B)を分散液から分離する過程(a)と、粒子Bを低級アルコール系溶媒に分散させ、電解質の第4級アンモニウム塩を加えて溶解させ、アルカリ水溶液とCを添加して加水分解、脱水、縮合させて粒子B上にシリカ膜を追加形成させる過程(b)とを含む方法。
請求項（抜粋）：
(1)金属酸化物からなる球状粒子を中級アルコールを主体とするアルコール系溶媒に分散して球状粒子の分散液を得る工程と、(2)前記分散液にアルカリ水溶液を添加して金属酸化物球状粒子の表面を活性化処理する工程と、(3)金属酸化物球状粒子表面に、TiO2 からなる酸化チタン膜を形成させて酸化チタン膜付き球状粒子を得る工程と、(4)前記酸化チタン膜付き球状粒子表面にシリカ膜からなる絶縁膜を形成する工程と、を含み、前記工程(4)が、(a)前記工程(3)で得られた酸化チタン膜付き球状粒子を中級アルコールを主体とするアルコール系溶媒に分散した後、分散液にアルカリ水溶液を添加して酸化チタン膜の表面を活性化処理し、次いでシリコンアルコキシドまたはその部分加水分解物を添加してこれを加水分解、脱水・縮合させて酸化チタン膜表面にシリカ膜を形成し、得られた酸化チタン膜-シリカ膜付き球状粒子を分散液から分離する過程と、(b)前記過程(a)により得られた酸化チタン膜-シリカ膜付き球状粒子を低級アルコール系溶媒中に分散させ、電解質である第4級アンモニウム塩を加えて溶解させ、アルカリ水溶液とシリコンアルコキシドまたはその部分加水分解物を添加してシリコンアルコキシドまたは、その部分加水分解物を加水分解、脱水・縮合させ、前記球状粒子のシリカ膜上にシリカ膜を追加形成させる過程と、を含み、前記過程(a)と(b)とを実施することによりシリカ膜からなる絶縁膜の膜厚を増加させることを特徴とする絶縁膜付き球状粒子の製造方法。
IPC (5件)：
C01G 23/053
, B01J 2/00
, C01B 33/12
, G02F 1/1339 500
, C23C 28/04
