特許

J-GLOBAL ID：200903078031138420

照明装置及びそれを有する露光装置

発明者： 村上 勝彦 ,  真島 清人
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-237654
公開番号（公開出願番号）：特開平7-094397
出願日： 1993年09月24日
公開日（公表日）： 1995年04月07日
要約：

【要約】【目的】 集光光学系の大型化を伴わずに広い照明領域を得ること。【構成】 所定波長の電磁波を供給する電磁波源(10)と、電磁波源からの電磁波を偏向させる偏向手段(20)とを持つ電磁波供給手段は、複数の電磁波源像(LS1〜LS3)を形成する。所定の軸(Ax30)を中心とした回転対称放物面形状の放物反射面を持つ集光手段(30)は、電磁波供給手段からの電磁波を集光して被照射面(M) を照明する。ここで、放物反射面は、放物面の焦点が被照射面に位置すると共に、放物反射面の前側焦点が複数の電磁波源像に位置するように設けられ、偏向手段と放物反射面とは、被照射面上に達する電磁波の主光線と平行であり、偏向手段を通る回転軸(Ax20)を中心として、一体に被照射面に対して回転可能に設けられる。

請求項（抜粋）：

所定波長の電磁波を供給する電磁波源と、該電磁波源からの電磁波を偏向させる偏向手段とを持ち、複数の電磁波源像を形成する電磁波供給手段と、所定の軸を中心とした回転対称放物面形状の放物反射面を持ち、前記電磁波供給手段からの電磁波を集光して被照射面を照明する集光手段とを有し、前記放物反射面は、前記放物面の焦点が前記被照射面に位置すると共に、前記反射面の前側焦点が前記複数の電磁波源像に位置するように設けられ、前記偏向手段を通りかつ前記集光手段からの前記電磁波の主光線と平行な回転軸を中心として、前記偏向手段と前記放物反射面とを一体に前記被照射面に対して回転可能に設けることを特徴とする照明装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 503

FI (3件)：

H01L 21/30 515 A ,  H01L 21/30 515 D ,  H01L 21/30 527