特許

J-GLOBAL ID：200903078031236910

基板検査装置および基板検査方法

発明者： 村井 博之 ,  小林 和弘 ,  高橋 和久
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 高田 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-094359
公開番号（公開出願番号）：特開平7-301648
出願日： 1994年05月06日
公開日（公表日）： 1995年11月14日
要約：

【要約】【目的】 アレイ基板状態の検査で、配線欠陥のみならず、画素の欠陥の要因となるスイッチング素子や蓄積容量の不良も検出できるようにすることを目的とする。【構成】 所定の量の電荷を蓄積容量5に保持した状態で、レーザー光19aをこの蓄積容量5に接続している薄膜トランジスタ4に照射する。そして、このとき発生する光リーク電流を、波高分析器14で検出する。

請求項（抜粋）：

複数の走査配線と、複数のデータ配線と、この走査配線とデータ配線との交差する位置に対応して配置され、一方の主電極が前記走査配線に接続し,他方の主電極が前記データ配線に接続し,制御電極が表示画素電極に接続した複数のスイッチング素子と、前記表示画素電極に接続した複数の蓄積容量とから形成されるアレイ基板を検査する基板検査装置において、前記走査配線に信号を供給する走査信号発生手段と、前記データ配線に信号を供給するデータ信号発生手段と、前記スイッチング素子個々にレーザー光を照射するレーザー光照射手段と、前記データ配線から信号を取り出す信号取り出し手段とを備えたことを特徴とする基板検査装置。

IPC (4件)：

G01R 31/00 ,  G01R 31/02 ,  G02F 1/1333 500 ,  H01L 21/66