特許
J-GLOBAL ID：200903078032091304
ウエハバンプの外観検査装置および高さ計測装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木村 高久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-080099
公開番号（公開出願番号）：特開平9-275126
出願日： 1996年04月02日
公開日（公表日）： 1997年10月21日
要約：
【要約】【課題】ウエハの位置決め誤差を精度よく、かつ短時間で補正し、バンプ外観検査を精度よく、かつ高速に行う。【解決手段】ウエハが、所定の座標系の座標軸に位置決めされる。そして、ウエハ上のすべてのバンプが視覚手段で撮像されるように、計測視野が移動すべき座標系上の座標位置が設定される。そして、ウエハが位置決めされた際に、座標系上の座標原点を回転中心とするウエハの回転位置ずれが検出される。そして、計測視野の各設定座標位置が、検出された回転位置ずれ分だけ座標系上で回転変換されることによって補正される。そして、この補正された各補正座標位置に、計測視野が順次移動されるように、ウエハと視覚手段の相対位置・姿勢が変化される。
請求項（抜粋）：
ウエハと、このウエハ上のバンプを撮像する視覚手段との相対位置・姿勢を、相対位置・姿勢変化手段によって変化させながら、前記ウエハ上のバンプの外観の検査を行うウエハバンプの外観検査装置において、前記相対位置・姿勢変化手段によって、前記ウエハを、所定の座標系の座標軸に位置決めする位置決め手段と、前記視覚手段は、複数のバンプを一度に撮像することができる計測視野を有しており、前記ウエハ上のすべてのバンプが前記視覚手段で撮像されるように、前記計測視野が移動すべき前記座標系上の座標位置を設定する設定手段と、前記位置決め手段によって前記ウエハが位置決めされた際に、前記座標系上の座標原点を回転中心とする前記ウエハの回転位置ずれを検出する検出手段と、前記設定手段で設定された前記視覚手段の計測視野の各設定座標位置を、前記検出手段で検出された回転位置ずれ分だけ前記座標系上で回転変換させることによって補正する補正手段と、前記補正手段で補正された各補正座標位置に、前記視覚手段の計測視野が順次移動されるように、前記相対位置・姿勢変化手段を駆動する手段とを具えたウエハバンプの外観検査装置。
IPC (6件)：
H01L 21/66
, G01B 11/02
, G01B 11/24
, G01N 21/88
, G06T 7/00
, H01L 21/321
H01L 21/66 R
, H01L 21/66 J
, G01B 11/02 Z
, G01B 11/24 C
, G01N 21/88 E
, G06F 15/62 405 Z
, H01L 21/92 604 T
, H01L 21/92 604 Z
