フィルムコンデンサの製造方法及び製造装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小鍜治明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-336374
公開番号（公開出願番号）：特開平7-201647
出願日： 1993年12月28日
公開日（公表日）： 1995年08月04日
要約：

【要約】【目的】フィルムコンデンサの電極引き出し端面の有機物選択除去において、フィルムコンデンサを耐熱温度以下に保ちながら、除去速度を低下させずに選択除去する製造装置及び製造方法を提供する。【構成】真空保持可能な反応容器3と、複数の電極と前記電極間に配置されている少なくとも1層の有機材料からなる誘電体との積層物あるいは巻回物からなるフィルムコンデンサ1を保持する手段と、前記フィルムコンデンサに対向する位置に高周波電力2が印加される反応ガス吹き出し電極4を有し、前記誘電体との積層物あるいは巻回物1と高周波電極4間の距離を15mm以下の狭間隔にし、前記反応ガス吹き出し電極4表面から供給された反応ガスに実効電力を変化させながら一定周期で間欠的に放電を発生させる高周波電源2を有し、前記積層物あるいは巻回物からなるフィルムコンデンサ1の融電体の電極引き出し端面側部分を選択的に除去する。

請求項（抜粋）：

複数の電極と前記電極間に配置されている少なくとも1層の有機材料からなる誘電体との積層物あるいは巻回物の電極引き出し端面側部分を、前記誘電体の耐熱温度以下で前記有機材料と反応性の成分を少なくとも含むガスに接触させ、前記積層物あるいは巻回物の誘電体の電極引き出し端面側部分を選択的に除去した後、端面電極を形成するフィルムコンデンサの製造方法において、有機材料と反応性を有する成分の生成に高周波電力によるプラズマを利用し前記高周波電力が印加される電極と、前記積層物あるいは巻回物の誘電体間の距離を15mm以下の狭間隔に配置したことを特徴とするフィルムコンデンサの製造方法。

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平2-207516
特開平3-235316
半導体ウエハーのプラズマ処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-081392 出願人：東京エレクトロン東北株式会社

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