特許
J-GLOBAL ID：200903078045301324
バンプ付基板の検査装置、検査方法及びバンプ付基板の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
菅原 正倫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-105554
公開番号（公開出願番号）：特開平11-287623
出願日： 1998年03月31日
公開日（公表日）： 1999年10月19日
要約：
【要約】【課題】 基板上に形成された複数のバンプを精度よく識別することができ、例えば平バンプが形成された基板の検査も正確かつ迅速に行うことができる検査装置を提供する。【解決手段】 バンプ付基板の、バンプの配列された検査面に検査光を照射し、その反射光をPSDにて受光しつつ検査光を検査面内にて二次元的に走査し、そのときの受光部の検知出力に基づいて、検査面内の各位置の高さ値に関する情報と反射光の輝度情報を生成する。そして、閾値以上の反射光輝度が得られる領域を高輝度領域BA1〜BA6等として特定し、その特定された高輝度領域のうち、基準面積S0以上の拡がりを持ったもの(BA1〜BA3)のみを各バンプの要部が存在するバンプ要部存在領域として識別する。他方、その識別されたバンプ要部存在領域内の各位置の高さ値情報に基づいてバンプ高さを算出する。これにより、バンプ表面状態等の影響を受けて、1つのバンプに由来する高輝度領域が2以上のものに分裂した場合でも、これを2以上のバンプと誤認するトラブルが発生しにくくなる。
請求項（抜粋）：
基板本体上に複数のバンプが二次元的に配列されたバンプ付基板の検査装置であって、前記バンプ付基板の、少なくとも前記複数のバンプの配列された領域を検査面として、該検査面に検査光を照射する光源と、前記検査光に基づく前記検査面からの反射光を受光する受光部と、前記検査光を前記検査面内にて二次元的に走査する光走査手段と、前記受光部の検知出力に基づいて、前記検査面内の各位置の高さに関する情報を生成する高さ情報生成手段と、前記受光部の検知出力に基づいて、前記検査面上の各位置における前記反射光の輝度情報を生成する反射光輝度情報生成手段と、その生成された反射光輝度情報に基づき、前記検査面において所定の閾値以上の反射光輝度を示す領域(以下、高輝度領域という)を特定する高輝度領域特定手段と、その特定された個々の高輝度領域のうち基準面積以上のものを、前記各バンプの要部が存在するバンプ要部存在領域として識別するバンプ要部存在領域識別手段と、その識別されたバンプ要部存在領域内の各位置の高さ情報に基づいて、該バンプ要部存在領域に対応するバンプの高さ情報を少なくとも含んだ検査情報を生成する検査情報生成手段と、その生成した検査情報を出力する検査情報出力手段と、を備えたことを特徴とするバンプ付基板の検査装置。
IPC (7件)：
G01B 11/02
, G01B 11/24
, G01N 21/88
, G02B 26/10
, H01L 23/12
, H05K 3/00
, H05K 3/34 505
G01B 11/02 Z
, G01B 11/24 C
, G01N 21/88 F
, G02B 26/10 Z
, H05K 3/00 Q
, H05K 3/34 505 B
, H01L 23/12 L
