特許

J-GLOBAL ID：200903078051191948

プラズマ発生用直流電源装置

発明者： 譲原 逸男 ,  新井 正美
出願人/特許権者： 株式会社京三製作所
代理人 (2件)： 荒船 博司 ,  荒船 良男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-197478
公開番号（公開出願番号）：特開2004-040962
出願日： 2002年07月05日
公開日（公表日）： 2004年02月05日
要約：

【課題】プラズマ発生装置に直流電力を供給する直流電源装置において、アーク発生を含む如何なる放電状況においても、出力電流の過大や乱調を起さずに安定に保ち、且つアーク発生時には速やかにこれを消弧すること。【解決手段】インバータ部に電流型インバータを使用することで出力を電流源化し、アーク消弧用の逆電圧発生回路と、プラズマ放電開始用の着火電源回路と、広範な負荷状態に対応するための電力回生回路を装備した直流電源装置。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

直流電力をプラズマ発生装置に供給するための直流電源装置であって、 入力される交流電力を直流変換する入力部と、 前記入力部の次段に接続された電流型インバータと、 前記電流型インバータが一次側に接続された変圧器と、 前記変圧器の二次側に発生させた交流電力を整流する整流器部と、 前記整流器部の整流出力を平滑する平滑回路と、 を備え、前記電流型インバータのスイッチング動作を電流源として制御することにより、前記プラズマ発生装置への供給電力量を制御することを特徴とする直流電源装置。

IPC (1件)：

H02M3/28

FI (2件)：

H02M3/28 Q ,  H02M3/28 R

Fターム (20件)：

5H730AA02 ,  5H730AA12 ,  5H730AA20 ,  5H730AS00 ,  5H730AS04 ,  5H730BB27 ,  5H730BB57 ,  5H730BB66 ,  5H730CC01 ,  5H730DD02 ,  5H730DD16 ,  5H730DD42 ,  5H730EE04 ,  5H730EE08 ,  5H730EE16 ,  5H730EE18 ,  5H730EE39 ,  5H730EE72 ,  5H730EE75 ,  5H730FG09

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭63-080764
  
• 特開昭63-274366