特許

J-GLOBAL ID：200903078051269009

反射防止膜を有する光学部材

発明者： 新出 謙一 ,  佐藤 弘次 ,  松本 雅一
出願人/特許権者： ホーヤ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-285300
公開番号（公開出願番号）：特開平6-109902
出願日： 1992年09月29日
公開日（公表日）： 1994年04月22日
要約：

【要約】【目的】 低い視感反射率を有し、さらに表面硬度が経時的に低下しにくい反射防止膜を有する光学部材を提供する。【構成】 光学ガラス基板上に、反射防止膜を有する光学部材であって、前記反射防止膜は、設計波長λ0 としたとき基板側から数えて順に、酸化ケイ素を主成分とし、光学的膜厚が0.05λ0 〜0.12λ0 である第1層と、酸化アルミニウムを主成分とし、光学的膜厚が0.28λ0 〜0.35λ0 である第2層と、酸化ジルコニウムおよび酸化チタンの混合物を主成分とし、光学的膜厚が0.45λ0 〜0.55λ0 である第3層と、フッ化マグネシウムを主成分とし、光学的膜厚が0.20λ0 〜0.30λ0 である第4層と、により形成されていることを特徴とする反射防止膜を有する光学部材。

請求項（抜粋）：

光学ガラス基板上に、反射防止膜を有する光学部材であって、前記反射防止膜は、設計波長をλ0 としたとき基板側から数えて順に、酸化ケイ素を主成分とし、且つ層の光学的膜厚が0.05λ0 〜0.12λ0である第1層と、酸化アルミニウムを主成分とし、且つ層の光学的膜厚が0.28λ0 〜0.35λ0 である第2層と、酸化ジルコニウムおよび酸化チタンの混合物を主成分とし、且つ層の光学的膜厚が0.45λ0 〜0.55λ0 である第3層と、フッ化マグネシウムを主成分とし、且つ層の光学的膜厚が0.20λ0 〜0.30λ0 である第4層と、により形成されていることを特徴とする反射防止膜を有する光学部材。