特許

J-GLOBAL ID：200903078056993848

変位センサおよびその製造方法

発明者： 櫻井 康平 ,  小町谷 昌宏 ,  松本 昌大 ,  鈴木 清光
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 高田 幸彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-334244
公開番号（公開出願番号）：特開2000-161962
出願日： 1998年11月25日
公開日（公表日）： 2000年06月16日
要約：

【要約】【課題】高感度で量産性に優れ、且つ回路一体型の構成も可能な変位センサを提供する。【解決手段】センサ素子を、互いに層状に重なるセンシング層と当該センシング層を支持する補助層から構成する。センシング層は、前記二つの層の接合面に対して平行な方向に変位する振動体を有し、補助層は、前記センシング層に接合され、前記振動体に接する部分に、当該振動体より大きな面積の凹部または貫通孔を有する。

請求項（抜粋）：

センシング層と該センシング層に接合された補助層とを備えた変位センサであって、前記センシング層は、可動部材と該可動部材の変位を検出する検出電極とを有し、前記可動部材は、該センシング層と前記補助層の接合面に対して平行な方向に変位するよう構成されており、前記補助層は、前記可動部材に対応する開口部を有することを特徴とする変位センサ。

IPC (3件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84

FI (3件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84 Z

Fターム (19件)：

2F105AA01 ,  2F105AA08 ,  2F105BB02 ,  2F105BB15 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2F105CD07 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112BA08 ,  4M112CA24 ,  4M112CA35 ,  4M112CA36 ,  4M112DA03 ,  4M112DA18 ,  4M112EA02 ,  4M112EA06 ,  4M112EA07 ,  4M112EA13

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 半導体慣性センサの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-072960   出願人：三菱マテリアル株式会社
• 力学量センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-274530   出願人：日本電装株式会社
• 角速度検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-274025   出願人：株式会社村田製作所