特許
J-GLOBAL ID：200903078057437949
表面形状測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西村 教光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-352552
公開番号（公開出願番号）：特開平11-190616
出願日： 1997年12月22日
公開日（公表日）： 1999年07月13日
要約：
【要約】【課題】 被測定物の表面形状を倣い計測しながら連続的に測定するための制御処理を簡素化でき、表面形状の高精度な測定を高速に行えること。【解決手段】 非接触レーザ変位計1は、被測定物Wに光ビームを照射して表面の形状に対応する変位信号を出力する。Zステージ5は非接触レーザ変位計1をZ軸方向に移動させ、移動量に対応した変位信号を出力する。オートフォーカスユニット6は、倣い計測のためにZステージ5を移動制御し、非接触レーザ変位計1とZステージ5からの変位信号を加算して被測定物Wの変位信号として出力する。制御手段20は、X,Yステージ2,3を移動制御し、オートフォーカスユニット6から出力される変位信号に基づき被測定物Wの高さ、幅、断面積などの表面形状を解析する。
請求項（抜粋）：
被測定物(W)に光ビームを照射し、該照射点からの光を受光して受光位置の変化によって被測定物表面の形状を測定し対応する変位信号を出力する非接触測定手段(1)と、前記被測定物と非接触測定手段を相対的にX,Y軸方向に移動させるX,Y移動手段(2,3)と、前記非接触測定手段を前記被測定物に対しZ軸方向に移動させ、移動量に対応した変位信号を出力するZ移動手段(5,7)と、前記非接触測定手段と前記Z移動手段から出力される変位信号を加算して被測定物の表面形状を示す変位信号を出力するとともに、常時、前記非接触測定手段から照射されるビームスポット径が被測定物表面で最小となるよう変位信号の出力値の変化に基づいて前記Z移動手段を移動制御するオートフォーカスユニット(6)と、予め設定した測定ルートに沿って前記X,Y移動手段を移動制御し、該移動制御による座標位置と前記オートフォーカスユニットから出力された変位信号に基づき前記被測定物の高さ、幅、断面積等の各種表面形状を演算処理する制御手段(20)と、を具備することを特徴とする表面形状測定装置。
IPC (4件)：
G01B 11/24
, G01B 11/00
, G02B 7/28
, G03B 13/36
G01B 11/24 C
, G01B 11/00 B
, G02B 7/11 H
, G03B 3/00 A
