特許
J-GLOBAL ID：200903078066594895
振動子の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-152049
公開番号（公開出願番号）：特開平9-331224
出願日： 1996年06月13日
公開日（公表日）： 1997年12月22日
要約：
【要約】【課題】 本発明は振動子の振動部の外周に、振動部と対応する部分に開口部を設けた補強板を接合し、この接合体を研磨し、薄板化を図る振動子の製造方法に関するもので、精密研磨によって、補強板の開口部間の面が湾曲面になってしまう問題を解決することを目的とする。【解決手段】 本発明の振動子の製造方法は、上記精密研磨において、金属または金属と樹脂を複合した材料で構成された定盤を用いるものである。この方法によれば、補強板の開口部間の面が湾曲することがなく、上記ケースとの接合も可能となるのである。
請求項（抜粋）：
振動部を有する圧電板と、この圧電板の前記振動部に対応する部分に開口部を設けた補強板とを接合して接合体を形成し、次に前記接合体の少なくとも圧電板側を第1の定盤で研磨し、その後、この接合体の圧電板側と補強板側の両面を第2の定盤で精密研磨を行い、次に、振動部の両面に励振用電極を形成し、その後、上記圧電板と補強板に第1のケースと第2のケースを接合して一体化する振動子の製造方法において、上記第2の定盤は、金属または金属と樹脂を複合した材料で構成された定盤を用いることを特徴とする振動子の製造方法。
IPC (4件)：
H03H 3/02
, B24B 1/00
, B24B 37/04
, H03H 9/19
H03H 3/02 B
, B24B 1/00 C
, B24B 37/04 A
, H03H 9/19 A
