特許
J-GLOBAL ID:200903078077208482
機能素子、機能素子を用いた装置、および機能素子の製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-102571
公開番号(公開出願番号):特開2004-304193
出願日: 2004年03月31日
公開日(公表日): 2004年10月28日
要約:
【課題】高精細化、高密度化、高集積化の要求に対応した圧電性または焦電性機能素子およびそれを利用したアクチュエータ、センサなどの装置を提供する。【解決手段】圧電性または焦電性を有する材料の薄膜1を1軸上に巻いて内径100μm以下のコイル状に形成する。また、圧電性または焦電性を有する材料を質量が10mg以下の素子に形成する。 これにより高精細化、高密度化、高集積化が可能な各種の機能素子、アクチュエータ、センサおよびそれらを利用した装置を実現することができる。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
圧電性または焦電性を有する材料をコイル状に形成したことを特徴とする機能素子。
IPC (11件):
H01L41/08
, A61B8/06
, A61B8/12
, G01F1/28
, G01L1/16
, G01P5/04
, H01L41/193
, H01L41/22
, H01L41/26
, H04R1/44
, H04R17/00
FI (12件):
H01L41/08 H
, A61B8/06
, A61B8/12
, G01F1/28 Z
, G01L1/16 B
, G01P5/04 H
, H04R1/44 330D
, H04R17/00 330G
, H01L41/08 Z
, H01L41/22 Z
, H01L41/18 102
, H01L41/22 C
Fターム (21件):
2F030CA10
, 2F030CC01
, 2G047AA01
, 2G047AC13
, 2G047BC13
, 2G047BC19
, 2G047CA01
, 2G047EA15
, 2G047GA02
, 2G047GB12
, 2G047GB32
, 2G047GB36
, 4C601DD03
, 4C601DD22
, 4C601EE09
, 4C601EE13
, 4C601FE04
, 4C601GB41
, 4C601GB45
, 5D019FF02
, 5D019FF04
引用特許:
出願人引用 (3件)
審査官引用 (11件)
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引用文献:
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