特許
J-GLOBAL ID：200903078082198789
表面被覆処理方法及び表面被覆処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
安田 敏雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-280257
公開番号（公開出願番号）：特開平6-128791
出願日： 1992年10月19日
公開日（公表日）： 1994年05月10日
要約：
【要約】【目的】 マスクによる作業困難性を緩和し、しかも均一な膜厚を有する被膜が得られる表面被覆処理方法及び表面被覆処理装置を提供する。【構成】 凹部を有する被処理物の該凹部内部を表面被覆処理する表面被覆処理方法であって、前記凹部の開口部を下に向けて、表面被覆処理すべき凹部内部を表面被覆処理液に浸漬し、前記開口部に対向する下方位置に設けられた前記被処理物の対極と前記被処理物との間で通電し、前記開口部の下方にて、表面被覆処理液を噴流且つ攪拌することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
凹部を有する被処理物の該凹部内部を表面被覆処理する表面被覆処理方法であって、前記凹部の開口部を下に向けて、表面被覆処理すべき凹部内部を表面被覆処理液に浸漬し、前記開口部に対向する下方位置に設けられた前記被処理物の対極と前記被処理物との間で通電し、前記開口部の下方にて、表面被覆処理液を噴流且つ攪拌することを特徴とする表面被覆処理方法。
IPC (3件)：
C25D 7/00
, C25D 21/04
, C25D 21/10 301
