静圧流体軸受

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-178981
公開番号（公開出願番号）：特開2001-012469
出願日： 1999年06月24日
公開日（公表日）： 2001年01月16日
要約：

【要約】【課題】静圧流体軸受を大型化することなく、第1部材1と第2部材3との隙間Tから漏洩する流体量を低減し、1×10-5Torrを越える超高真空環境下でも真空度を低下させることなく作動させることができるようにする。【解決手段】静圧流体軸受を構成する第1部材1と第2部材3との隙間Tに圧縮流体を噴出する給気孔6の周囲に、該給気孔6を包囲する二重の排気溝7,8を形成するとともに、少なくとも内側の排気溝7の内壁を、ガイド面4に対して40度〜65度の範囲で開口部から外側に傾斜させる。

請求項（抜粋）：

第1ガイド面を有する第1部材と、前記第1ガイド面に対し隙間を設けて対向する第2ガイド面を有する第2部材とから成り、前記第1ガイド面又は第2ガイド面は、前記隙間に圧縮流体を噴出して静圧流体層を形成する給気孔と、該給気孔の周囲に形成され、前記圧縮流体を回収する二重の排気溝を備えており、かつ少なくとも内側に位置する排気溝の内壁が、前記第1ガイド面又は第2ガイド面に対し外側に40度〜65度傾斜していることを特徴とする静圧流体軸受。

Fターム (14件)：

3J102AA02 , 3J102BA03 , 3J102BA06 , 3J102BA09 , 3J102BA12 , 3J102BA13 , 3J102BA17 , 3J102CA19 , 3J102CA36 , 3J102EA02 , 3J102EA07 , 3J102EA10 , 3J102EA23 , 3J102GA19

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開昭58-005522
特開昭58-005523
特開昭58-028015

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