特許
J-GLOBAL ID：200903078088124329
セラミックスヒーター
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-302351
公開番号（公開出願番号）：特開平6-151332
出願日： 1992年11月12日
公開日（公表日）： 1994年05月31日
要約：
【要約】【目的】 加熱能力が向上するとともに、プラズマの発生位置をウェハーWの近傍にすることができるセラミックスヒーターを提供する。【構成】 緻密なセラミックス基材2に高融点金属からなる抵抗発熱体3を埋設したセラミックスヒーター1において、プラズマ発生用電極6を前記セラミックス基材2に埋設し、ウェハーWの設置面に対し前記プラズマ発生用電極6が絶縁性を有する構造とする。
請求項（抜粋）：
緻密なセラミックス基材に高融点金属からなる抵抗発熱体を埋設したセラミックスヒーターにおいて、プラズマ発生用電極を前記セラミックス基材に埋設し、ウェハー設置面に対し前記プラズマ発生用電極が絶縁性を有する構造としたことを特徴とするセラミックスヒーター。
IPC (3件)：
H01L 21/205
, H01L 21/302
, H05B 3/20 356
