特許
J-GLOBAL ID:200903078089412620

板状体の非接触位置決め装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 高橋 敬四郎 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-040193
公開番号(公開出願番号):特開平6-249639
出願日: 1993年03月01日
公開日(公表日): 1994年09月09日
要約:
【要約】【目的】 各種形状、サイズの板状体の位置検出を低発塵で正確かつ迅速に対応することが可能で簡素な構成の板状体の非接触位置決め装置を提供することが目的である。【構成】 指向性の強い電磁波または音波が板状体(12)の縁に接することをセンサで検出して、板状体の(12)の非接触位置決めを行なうものであり、具体的には、角錐状に放射される複数の集束エネルギ線(16)を放射、検出するセンサ群、センサ群の配置における中心軸と直角になるように板状体(12)を保持する回転テーブル(11)、板状体(12)の搬送または位置修正を行なうロボットハンド(13a)、位置検出や位置修正の駆動源であるパルスモータ(7)や制御機器(18)などを設けている。
請求項(抜粋):
指向性の強い電磁波または音波で構成される集束エネルギ線が板状体の縁に接することをセンサで検出して板状体の非接触位置決めを行なう装置において、複数の集束エネルギ線を中心軸に沿って次第に収束、または発散する方向に放射するエミッション手段と、放射されたエネルギ線をそれぞれ検出する検出手段を有するセンサユニットと、前記中心軸にほぼ垂直な面内で互いに前記板状体を授受することができ前記面内に板状体を保持するハンドおよびテーブルと、前記板状体の縁が前記複数の集束エネルギ線の各々に接するように前記センサユニットおよび前記ハンドまたはテーブルの一方を他方に対して相対的に移動および回転させる駆動手段とを備えたことを特徴とする板状体の非接触位置決め装置。
IPC (2件):
G01B 21/00 ,  H01L 21/68

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