特許
J-GLOBAL ID：200903078091014178
プローブカードによる多ピンデバイスの検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-057204
公開番号（公開出願番号）：特開平11-260869
出願日： 1998年03月09日
公開日（公表日）： 1999年09月24日
要約：
【要約】【課題】多ピンデバイスのウェハ検査を行う場合において、特に小ピンテスターでの検査を可能とすることにより費用削減および作業効率向上を可能とする技術に関する。従来の検査装置では、多出力ICの検査を行う場合、プローブカード上の全ての信号をケーブルによりパフォーマンスボードへ接続しなければならない。【解決手段】信号選択部をプローブカードの近傍に配置し、プローブカード上の信号を信号選択部を経由して、再度プローブカード上に戻す形にする。【効果】プローブカードとパフォーマンスボード間の接続ケーブル本数が削減することが可能になる。
請求項（抜粋）：
多出力端子を持つIC(以下、多ピンデバイスと称す)の検査に用いるプローブカードにおいて、プローブカード上に出力された多ピンデバイスの信号を信号選択部を通して、再度プローブカード上のプローブカードとパフォーマンスボード間の接続ケーブル本数を少なくするための配線(以下、ダミー配線と称す)を通してパフォーマンスボードと接続することにより、プローブカードとパフォーマンスボード間の接続ケーブル本数を減少させることが出来る特徴を持つプローブカードによる多ピンデバイスの検査装置。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, G01R 1/06
, G01R 31/28
H01L 21/66 B
, G01R 1/06 E
, G01R 31/28 K
