特許
J-GLOBAL ID：200903078108385817
プローブカード
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 利之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-263142
公開番号（公開出願番号）：特開平7-098330
出願日： 1993年09月28日
公開日（公表日）： 1995年04月11日
要約：
【要約】【目的】 基板よりも線膨張率の小さい支持板を基板に固定して、この支持板に針押さえを固定することにより、基板が熱変形を生じてもプローブ針の支持部の高さ位置があまり変動しないようにする。【構成】 プローブカードは、ガラスエポキシ製の基板36と、窒化アルミニウム系セラミックス製の支持板42と、快削セラミックス製の針押さえ32と、プローブ針30とからなる。針押さえ32は締結装置40によって支持板42に固定され、支持板42は別の締結装置44によって基板36に固定されている。被検体を高温で検査すると、被検体及びチャックトップからの放射熱や、プローブ針からの伝導熱によって、基板36は下に凸になるように変形する。しかし、針押さえ32は線膨張率の小さい支持板42に固定されているので、針押さえ32の高さ位置の変動は従来よりも小さくなる。
請求項（抜粋）：
複数のプローブ針と、これらのプローブ針の先端位置が被検体の電極配置に対応するようにプローブ針を固定する針押さえと、プローブ針と外部の検査装置とを電気的に接続するための配線パターンを形成した基板とを備えるプローブカードにおいて、前記基板よりも線膨張率の小さい支持板を前記基板に固定し、この支持板に前記針押さえを固定し、前記基板と前記支持板との固定位置を、前記支持板と前記針押さえとの固定位置よりも、基板の外周側に位置させたことを特徴とするプローブカード。
引用特許：
前のページに戻る
