特許

J-GLOBAL ID：200903078117513143

カラ-フィルタの製造方法及び製造装置

発明者： 緑川 輝行 ,  松緑 剛
出願人/特許権者： 株式会社東芝 ,  東芝電子エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-007773
公開番号（公開出願番号）：特開平5-341118
出願日： 1993年01月20日
公開日（公表日）： 1993年12月24日
要約：

【要約】【目的】この発明は、着色層が不良であった場合、その着色層を除去して、透明基板を再利用出来るようにしたカラ-フィルタの製造方法及び製造装置を提供することを目的とする。【構成】この発明のカラ-フィルタの製造方法及び製造装置は、酸水溶液処理槽71と、リピ-ト水洗槽72と、超音波洗浄槽73と、メガソニック洗浄槽74と、温純水引上げ乾燥槽75と、各槽へ透明基板を自動搬送する手段とからなる製造装置を使用して、透明基板1上に遮光層2を形成し、この遮光層上に着色層3R,3G,3Bを形成する際、その着色層が不良である場合、その着色層を硝酸2乃至50重量%、及び硫酸を含む酸水溶液を用いて除去し、透明基板を再利用する工程を含むことにより、上記の目的を達成することが出来る。

請求項（抜粋）：

透明基板上に遮光層を形成し、この遮光層上に着色層を形成するカラ-フィルタの製造方法において、上記着色層が不良である場合、該着色層を硝酸2乃至50重量%、及び硫酸を含む酸水溶液を用いて除去し、上記透明基板を再利用する工程を含むことを特徴とするカラ-フィルタの製造方法。

IPC (3件)：

G02B 5/20 101 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1335 505