特許

J-GLOBAL ID：200903078117966830

光学検査装置

発明者： イガル、カツイル ,  オデド、アルノン ,  エイヤル、タイヒマン
出願人/特許権者： オー・アール・ビー・オー・テー、システムズ、リミテツド
代理人 (1件)： 田代 烝治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-105785
公開番号（公開出願番号）：特開平5-126748
出願日： 1991年05月10日
公開日（公表日）： 1993年05月21日
要約：

【要約】【目的】 光学検査装置の照明システムを、0.5μm程度の解像エレメントを有する高解像力検査装置に使用できるように改善する。【構成】 照明システムは、ワークピース表面の所定の範囲を天空光照明で照明し、この照明は、照明した範囲内のそれぞれの点に関して、光電センサとワークピース表面を垂直に通る光軸の回りの立体角にわたって実質的に円形対称である。

請求項（抜粋）：

ワークピース表面の所望の特徴に関するデータを記憶するメモリ、ワークピース表面の範囲を照明する照明システム、照明したワークピース表面から反射した光を検出しかつそれに対応する電気信号を出力する光電センサ、及び前記光電センサにより出力された電気信号を解析しかつ前記メモリ内に記憶されたデータと比較しかつそれに関して不一致が表示された場合に検査したワークピース表面に欠陥があることを表示する論理回路を含むプロセッサが設けられている、ワークピースの表面を光学検査する検査装置において、照明システムが、ワークピース表面の範囲を天空光照明で照明し、この照明が、照明した範囲内のそれぞれの点に関して、光電センサとワークピース表面を垂直に通る光軸の回りの立体角にわたって実質的に円形に対称であることを特徴とする光学検査装置。

IPC (4件)：

G01N 21/84 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/88 ,  G02B 6/00