特許
J-GLOBAL ID:200903078128293668
マイクロボンディング方法
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
西澤 利夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-082311
公開番号(公開出願番号):特開平11-277269
出願日: 1998年03月27日
公開日(公表日): 1999年10月12日
要約:
【要約】【課題】 高分子微粒子を高分子フィルム等の基板表面上に容易に、且つ正確に接着固定させることのできる、新しいマイクロボンディング方法を提供する。【解決手段】 高分子微粒子(5)および高分子基板(6)の非吸収波長を有する捕捉用レーザ光により捕捉された状態の高分子微粒子(5)を高分子基板上(6)に接着固定させるマイクロボンディング方法であって、高分子微粒子(5)および高分子基板(6)の吸収波長を有する接着固定用レーザ光を、高分子微粒子(5)と高分子基板(6)との接点に集光させる。
請求項(抜粋):
高分子微粒子および高分子基板の非吸収波長を有する捕捉用レーザ光により捕捉された状態の高分子微粒子を高分子基板上に接着固定させるマイクロボンディング方法であって、高分子微粒子および高分子基板の吸収波長を有する接着固定用レーザ光を、高分子微粒子と高分子基板との接点に集光させることを特徴とするマイクロボンディング方法。
IPC (4件):
B23K 26/00 310
, B01J 19/12
, B25J 7/00
, C08J 5/12
FI (4件):
B23K 26/00 310 S
, B01J 19/12 H
, B25J 7/00
, C08J 5/12
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