特許
J-GLOBAL ID:200903078132051881
ドーム型間接照明装置及びパターン撮像方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-290821
公開番号(公開出願番号):特開2004-125644
出願日: 2002年10月03日
公開日(公表日): 2004年04月22日
要約:
【課題】ドーム型間接照明装置において、充分な光の照射を可能にし、かつ、ドーム型間接照明装置自身は、省スペース化を図ること。さらに、この照明により、有効な検査・計測が可能なパターン撮像方法を提供すること。【解決手段】複数の光源と、複数の光源から入射される光が導光される導光管と、導光管に設けられており、導光管に導光されている光を出射するスリットと、スリットから出射された光を反射するドーム状内面とを有するドーム型間接照明装置を提供する。さらに、このドーム型間接照明装置を用いて、多層配線板を照射し、撮像するパターン撮像方法を提供する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
少なくとも、複数の光源と、ドーム状内面を有する照明部とからなり、
前記照明部は、
その底部に導光管を有しており、
前記導光管にはスリットが設けられており、
前記スリットは、ドーム状内面側に設けられており、
前記複数の光源から前記導光管に入射された光は、前記導光管の前記スリットから、前記ドーム状内面へ照射され、前記ドーム状内面に照射された光は、前記ドーム状内面で反射する
ことを特徴とするドーム型間接照明装置。
IPC (7件):
G01N21/84
, G01N21/956
, G03B15/00
, G03B15/02
, H04N5/222
, H04N5/225
, H04N7/18
FI (9件):
G01N21/84 E
, G01N21/956 B
, G03B15/00 T
, G03B15/02 G
, G03B15/02 L
, G03B15/02 P
, H04N5/222 Z
, H04N5/225 C
, H04N7/18 B
Fターム (20件):
2G051AA65
, 2G051AB02
, 2G051BA02
, 2G051BA05
, 2G051BB02
, 2G051BB05
, 2G051BB07
, 2G051BB11
, 2G051CA04
, 2G051CB05
, 5C022AA01
, 5C022AB15
, 5C022AC51
, 5C022AC70
, 5C054CA04
, 5C054CC03
, 5C054EA01
, 5C054FC01
, 5C054HA05
, 5C054HA33
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