特許
J-GLOBAL ID：200903078142744907
酸化物超伝導体装置及び回路のための改善されたバリア層
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大橋 邦彦 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-508245
公開番号（公開出願番号）：特表平8-501416
出願日： 1993年09月14日
公開日（公表日）： 1996年02月13日
要約：
【要約】酸化物に基づく電子装置及び回路用に適合する導体が開示されている。Aは稀土類又はアルカリ土類元素、或いは稀土類又はアルカリ土類元素の合金であり、Mは遷移金属である場合の一般組成:AMO3を有する金属酸化物は、金属的振る舞いを示すと共に、高温セラミック処理に互換性がある。他の有用な金属酸化物は組成:(A1-xA’x)B2(M1-yM’y)3O7-δ或いは(A1-xA”x)m(M1-yM’y)nO2m+nを有し、但し、0≦x、y≦1、0.5≦m、n≦3であり、A及びA’は、稀土類又はアルカリ土類元素、或いは稀土類又はアルカリ土類元素の合金、A”及びBはアルカリ土類元素、アルカリ土類元素の合金、稀土類元素、稀土類元素の合金、並びにアルカリ土類及び稀土類元素の合金であり、M及びM’は遷移金属元素又は遷移金属元素の合金である。金属酸化物は、酸化物超伝導体の成長用として共通して使用される基板及び緩衝層上と同様に、酸化物超伝導体上にエピタキシャル成長する。また、酸化物超伝導体は此等の金属酸化物上にエピタキシャル成長可能である。高温超伝導材料の超伝導体-標準体-超伝導体(SNS)接合の非常に大きな改善性能はその標準材料がここに開示されたタイプの金属酸化物である場合に得られる。好適実施例において、導電性酸化物CaRuO3が標準材料として、超伝導体としてのYBa2Cu3O7-δを伴うSNS接合内に使用されている。このタイプの接合で製作されて77Kで機能するDC超伝導体量子干渉装置(SQUID)は大きな変調と低いノイズを示す。
請求項（抜粋）：
電気的装置の少なくとも1つの要素に電気的に接続する導電性要素において、 前記導電性要素は基板上に形成され、前記導電性要素は金属酸化物から形成されており、前記金属酸化物は金属的な特性を示す金属酸化物であり、前記金属酸化物は前記基板に対してエピタキシー関係にあり、前記装置要素は金属酸化物から成る前記基板上に形成され、前記金属酸化物は前記基板に対してエピタキシー関係にあることから成る導電性要素。
IPC (4件)：
H01L 39/22 ZAA
, C01G 1/00 ZAA
, C01G 3/00 ZAA
, H01L 39/02 ZAA
