特許
J-GLOBAL ID：200903078143745940
マイクロマシンキャパシタ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉岡 宏嗣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-349397
公開番号（公開出願番号）：特開2004-181552
出願日： 2002年12月02日
公開日（公表日）： 2004年07月02日
要約：
【課題】電極板を大型化させずにチューニングレンジを拡大できるマイクロマシンキャパシタを提供する。【解決手段】基板1側に設けられた基板側電極板5と、この基板側電極板5と平行にこの基板側電極板5に対して間隔をおいて設置された可動電極板7と、弾性を有して可動電極板7を基板側電極板5方向に変位可能に支持する弾性支持機構と、基板側電極板5及び可動電極板7に各々接続されてこれら2枚の電極板5、7間に電圧を印加するための配線17、19とを備え、弾性支持機構は、可動電極板7に連結された第1の弾性部9と、第1の弾性部9と基板1との間に位置し、可動電極板7が基板側電極板5方向へ変位したとき第1の弾性部9が当接する第2の弾性部13とを有し、第1の弾性部9が第2の弾性部13に当接することにより、可動電極板7の基板側電極板5方向への変位に応じて剛性が増加する構成とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板側に設けられた基板側電極板と、該基板側電極板と平行に該基板側電極板に対して間隔をおいて設置された可動電極板と、弾性を有して前記可動電極板を前記基板側電極板方向に変位可能に支持する弾性支持機構と、前記基板側電極板及び前記可動電極板に各々接続されて該2枚の電極板間に電圧を印加するための配線とを備え、
前記弾性支持機構は、前記可動電極板の前記基板側電極板方向への変位に応じて剛性が増加してなるマイクロマシンキャパシタ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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