特許

J-GLOBAL ID：200903078145649611

圧力制御式バルブを有する微小ケミカルデバイス

発明者： 穴澤 孝典 ,  寺前 敦司
出願人/特許権者： 財団法人川村理化学研究所
代理人 (1件)： 高橋 勝利
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-041595
公開番号（公開出願番号）：特開2002-239374
出願日： 2001年02月19日
公開日（公表日）： 2002年08月27日
要約：

【要約】【課題】 本発明が解決しようとする課題は、構造が簡単で耐圧性が高く、且つ容易に製造できるバルブ機構を有する微小ケミカルデバイスを提供することにある。【解決手段】 エネルギー線硬化性組成物の硬化物で形成されたダイヤフラムにより、流体流量を調節する圧力制御式バルブを有する微小ケミカルデバイス、特にダイヤフラムが厚み1〜500μmで、引張弾性率1〜700MPaの範囲の素材で形成されている微小ケミカルデバイス、及びその製造方法。

請求項（抜粋）：

エネルギー線硬化性組成物の硬化物で形成されたダイヤフラムにより、流体流量を調節する圧力制御式バルブを有する微小ケミカルデバイス。

IPC (5件)：

B01J 19/00 ,  C08F 2/46 ,  F16K 7/12 ,  F16K 7/17 ,  F16K 31/126

FI (5件)：

B01J 19/00 G ,  C08F 2/46 ,  F16K 7/12 A ,  F16K 7/17 B ,  F16K 31/126 Z

Fターム (28件)：

3H056AA07 ,  3H056BB24 ,  3H056BB32 ,  3H056CA08 ,  3H056EE01 ,  3H056GG11 ,  4G075AA39 ,  4G075AA61 ,  4G075CA05 ,  4G075FC10 ,  4J011AC04 ,  4J011QA12 ,  4J011QA13 ,  4J011QA19 ,  4J011QA23 ,  4J011QA24 ,  4J011QA25 ,  4J011QA39 ,  4J011QA45 ,  4J011QA46 ,  4J011QB05 ,  4J011QB16 ,  4J011QB19 ,  4J011QB24 ,  4J011QC10 ,  4J011UA01 ,  4J011VA01 ,  4J011WA07