特許
J-GLOBAL ID：200903078149016060
走査電子顕微鏡用対物レンズ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-307456
公開番号（公開出願番号）：特開平9-147774
出願日： 1995年11月27日
公開日（公表日）： 1997年06月06日
要約：
【要約】【課題】 より大きな試料の傾斜角が達成できる走査電子顕微鏡用対物レンズを実現する。【解決手段】 円錐状の対物レンズの磁極6の傾斜された試料4と対抗する部分7は平面状に削り取っているので、試料4を磁極6と衝突することなしにより大きく傾斜させることができる。また、従来と同じ傾斜角の場合には、試料4と対物レンズとの距離(ワーキングディスタンス)を短くすることができ、対物レンズの収差を小さくしてより高分解能の2次電子像の観察が可能となる。
請求項（抜粋）：
円錐状の磁極を備えた対物レンズであって、少なくとも傾斜された試料と対向する磁極の外側表面を削り平面状態とした走査電子顕微鏡用対物レンズ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 37/141 A
, H01J 37/28
