特許

J-GLOBAL ID：200903078152945870

安全装置付液浸対物レンズ

発明者： 山広 知彦 ,  河原畑 健
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 木内 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-387241
公開番号（公開出願番号）：特開2003-185926
出願日： 2001年12月20日
公開日（公表日）： 2003年07月03日
要約：

【要約】【課題】 ボトムディッシュと干渉するおそれのない、安価でコンパクトな安全装置付液浸対物レンズを提供する。【解決手段】 複数のレンズ10が収められた円筒状ホルダ20と、この円筒状ホルダ20を光軸L方向へ移動可能に収めたハウジング30とを備えた安全装置付液浸対物レンズ1において、円筒状ホルダ20の先端部の外周面に複数の環状溝40を形成した。

請求項（抜粋）：

レンズ系が収められた円筒状ホルダと、前記円筒状ホルダの外周側に設けられ、この円筒状ホルダを光軸方向へ移動可能に収めたハウジングとを備えた安全装置付液浸対物レンズにおいて、前記円筒状ホルダの先端部の外周面及び前記ハウジングの先端部の内周面の少なくともいずれか一方に凹部を形成したことを特徴とする安全装置付液浸対物レンズ。

IPC (3件)：

G02B 21/02 ,  G02B 7/02 ,  G02B 21/00

FI (4件)：

G02B 21/02 Z ,  G02B 7/02 D ,  G02B 7/02 E ,  G02B 21/00

Fターム (7件)：

2H044AD00 ,  2H044AE01 ,  2H052AB02 ,  2H052AD31 ,  2H087KA09 ,  2H087LA01 ,  2H087NA00