気体中の不純物濃度の測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-254415
公開番号（公開出願番号）：特開平9-061402
出願日： 1995年08月27日
公開日（公表日）： 1997年03月07日
要約：

【要約】【目的】コロナ放電を用いた気体中の不純物濃度の測定装置において、成分の分離手段を備えることにより、ガス中の不純物成分の同定を可能とし、さらに、ガス吸引による分析を可能とする。【構成】高純度ガスの供給部27と放電室11の間にサンプルガスの供給部23を備え、サンプルガスが成分の分離手段34を介して供給される。また、放電室11の測定ガス流出口14に排気手段44を備え、サンプルガスの吸引が可能となっている。

請求項（抜粋）：

コロナ放電の放電電流が一定となるようにした高圧定電流電源により印加された測定ガスが通流する放電室内の放電針と対向電極間の電位差の変化により気体中の不純物濃度を測定する測定装置において、不純物を除去した高純度ガスの供給部と放電室の間にサンプルガスの供給部を備え、サンプルガスが成分の分離手段を介して供給されることを特徴とする気体中の不純物濃度の測定装置。

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