特許
J-GLOBAL ID:200903078174752189

圧電素子を利用した微小移動装置およびその装置を用いた位置決め方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-311261
公開番号(公開出願番号):特開平5-083958
出願日: 1991年09月18日
公開日(公表日): 1993年04月02日
要約:
【要約】【目的】 微小変位移動機構の移動範囲を広げると共に、移動対象物体と移動機構との間の距離による衝撃力の変動を減少させることができ、また、従来の微小移動装置よりも小さな移動対象物体の位置制御が可能であり、衝撃力を直接作用することができないような物性あるいは微小あるいは、厚さの薄い移動対象物体の微小な移動量を精度良く制御可能にする。【構成】 微動移動装置の圧電素子とハンマ6との間にワイヤ10を設け、衝撃力をワイヤ10を介して移動体物体8に伝達するよう構成させ、また、移動体物体8を移動させるための移動機構の他に別の静的位置決め機能を持たせた移動機構を設けて微動移動装置を構成する。
請求項(抜粋):
圧電素子により駆動力を発生する駆動機構と、前記駆動力を移動対象物に印加する打撃部分とからなり、前記駆動機構と前記打撃部分とをワイヤで接続したことを特徴とする圧電素子を利用した微小移動装置。
IPC (3件):
H02N 2/00 ,  G05D 3/00 ,  G01B 7/00

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