特許

J-GLOBAL ID：200903078179026583

感光性組成物及び酸発生剤

発明者： 児玉 邦彦
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (5件)： 小栗 昌平 ,  本多 弘徳 ,  市川 利光 ,  高松 猛 ,  濱田 百合子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-319905
公開番号（公開出願番号）：特開2004-157158
出願日： 2002年11月01日
公開日（公表日）： 2004年06月03日
要約：

【課題】高感度、高解像力で、良好なパターンプロファイルを示し、保存時に於けるパーティクルの発生が抑制された感光性組成物を提供する。【解決手段】下記一般式(I)で表される特定構造の酸発生剤を含有する感光性組成物。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

(A)活性光線の照射により酸を発生する下記一般式(I)で表される化合物を含有することを特徴とする感光性組成物。

IPC (3件)：

G03F7/004 ,  C09K3/00 ,  H01L21/027

FI (3件)：

G03F7/004 503A ,  C09K3/00 K ,  H01L21/30 502R

Fターム (18件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA11 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE07 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB08 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45 ,  2H025CC17 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17