特許

J-GLOBAL ID：200903078181184315

圧力計の較正方法及び装置

発明者： 松下 充利
出願人/特許権者： 株式会社キーエンス
代理人 (1件)： 河野 登夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-072729
公開番号（公開出願番号）：特開平11-271163
出願日： 1998年03月20日
公開日（公表日）： 1999年10月05日
要約：

【要約】【課題】 煩雑なトリマの調整作業を手作業で行なう必要がなく、A/D変換器の作動能力を最大限に用いることができる圧力計の較正方法及びその実施に使用する較正装置を提供する。【解決手段】 圧電変換部2に第1基準圧P1を加えた状態で、電源1から通電しない場合の増幅・加算回路3の加算結果と、電源1から所定の通電をする場合の増幅・加算回路3の加算結果との差が所定値以下となるように圧電変換部2の感度を調整するトリマTと、電源1から所定の通電をしておき、圧電変換部2に第1基準圧P1を加えた状態における増幅・加算回路3の加算結果と、圧電変換部2に第2基準圧P2を加えた状態における増幅・加算回路3の加算結果との差がA/D変換器4の作動範囲に基づいた幅をもつように電源1から通電する量を調整し、また、圧電変換部2に第1基準圧P1を加え、調整された量で通電する場合の増幅・加算回路3の加算結果が所定値となるように増幅・加算回路3で加算する信号を調整するMPU5とを備える構成とする。

請求項（抜粋）：

電源と、該電源によって通電され、流体の圧力に応じた信号を出力する圧電変換手段と、該圧電変換手段から出力された信号に、調整することが可能な信号を加算する加算回路と、該加算回路の加算結果をA/D変換するA/D変換器と、該A/D変換器により変換された信号に基づいて前記圧力を演算する演算手段とを備える圧力計の前記電源、前記圧電変換手段、及び前記加算回路を夫々調整することにより、前記圧力計を較正する方法において、前記圧電変換手段に第1基準圧を加えた状態で、前記電源から通電しない場合の前記加算回路の加算結果と、前記電源から所定の通電をする場合の前記加算回路の加算結果との差が所定値以下となるように前記圧電変換手段の感度を調整する第1ステップと、前記電源から所定の通電をしておき、前記圧電変換手段に第1基準圧を加えた状態における前記加算回路の加算結果と、前記圧電変換手段に第2基準圧を加えた状態における前記加算回路の加算結果との差が前記A/D変換器の作動範囲に基づいた幅をもつように前記電源から通電する量を調整する第2ステップと、前記圧電変換手段に第1基準圧を加え、前記第2ステップにて調整された量で通電する場合の前記加算回路の加算結果が所定値となるように前記加算回路で加算する信号を調整する第3ステップとを有することを特徴とする圧力計の較正方法。