特許
J-GLOBAL ID：200903078183524490

表面性状測定器

発明者：
中村 泰三

中村 泰三 について

, 
猿木 義雄

猿木 義雄 について

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鳴海 達也

鳴海 達也 について

, 
福本 泰

福本 泰 について


出願人/特許権者：
株式会社ミツトヨ

株式会社ミツトヨ について


代理人 (1件)： 吉田 研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-239286
公開番号（公開出願番号）：特開2002-054910
出願日： 2000年08月08日
公開日（公表日）： 2002年02月20日
要約：
【要約】【課題】 被検体の表面性状の測定を効率よく行う表面性状測定器を提供する。【解決手段】 移動可能に設置されたダイアモンド圧子16の先端部に光を照射する。その反射光をレンズ46により集光し、フォトセンサ42で観測することにより先端部17の曲率半径を測定する。一方、先端部17からの反射光と参照体66からの反射光との干渉縞をCCDカメラ44にて観測することにより先端部の表面性状を測定する。
請求項（抜粋）：
曲率を有する表面を備え、移動可能に設置された被検体の表面性状を測定する表面性状測定器において、光源からの光により照射された前記被検体と参照体からの各々の反射光により干渉縞を形成する干渉光学系と、前記干渉縞に基づいて前記被検体の表面性状測定を行う表面性状測定部と、前記被検体からの反射光を集光する集光光学系と、前記被検体を並進移動させて前記集光光学系により集光された光の変化に基づいて前記被検体の曲率半径測定を行う曲率半径測定部と、を含むことを特徴とする表面性状測定器。
IPC (3件)：
G01B 11/24 ,  G01B 9/02 ,  G01B 11/30 102
FI (3件)：
G01B 9/02 ,  G01B 11/30 102 B ,  G01B 11/24 D
Fターム (30件)：
2F064AA09 ,  2F064BB07 ,  2F064CC04 ,  2F064FF00 ,  2F064GG02 ,  2F064GG12 ,  2F064GG13 ,  2F064GG32 ,  2F064GG38 ,  2F064HH03 ,  2F064JJ01 ,  2F065AA46 ,  2F065AA50 ,  2F065AA54 ,  2F065BB05 ,  2F065DD03 ,  2F065FF16 ,  2F065FF17 ,  2F065FF51 ,  2F065GG01 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL02 ,  2F065LL04 ,  2F065LL28 ,  2F065LL30 ,  2F065LL32 ,  2F065LL36 ,  2F065LL46 ,  2F065QQ28
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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