特許

J-GLOBAL ID：200903078188706848

透過率測定装置

発明者： 垣内田 洋
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-162176
公開番号（公開出願番号）：特開平9-015153
出願日： 1995年06月28日
公開日（公表日）： 1997年01月17日
要約：

【要約】【目的】 サンプルの交換が簡単で、透過光量測定時でもオートフォーカス機構を機能させ得る透過率測定装置を提供する。【構成】 第2遮光部材40が、第1遮光部材30の周囲からの外部光が無反射で直接的に光検出器D1に入射することを阻止するので、両遮光部材30、40間にサンプルSPをセットした場合、外部光が光検出器D1に入射することを阻止することができる。この際、サンプルSPは両遮光部材30、40間にステージによって支持されているだけで足り、サンプルSPの交換などの作業性を高めることができる。また、干渉フィルタF1が、測定波長以外の不要な照明光や焦点検出光が光検出器D1に入射してノイズを発生させることを防止するので、合焦機構を動作させつつ精度の高い透過光量測定を行うことができる。

請求項（抜粋）：

測定用光源からの照明光をサンプルに入射させる対物レンズと、前記照明光によって照明された前記サンプルから出射する透過光の光量を検出する光検出器とを備える透過率測定装置において、前記対物レンズの周囲を覆うとともに、前記照明光が当該対物レンズから出射するサンプル側に開口を有する第1遮光部材と、前記光検出器の周囲を覆うとともに、前記透過光が当該光検出器に入射するサンプル側に開口を有し、前記第1遮光部材の周囲からの外部光が無反射で直接的に前記光検出器に入射することを阻止する第2遮光部材と、前記第1及び第2遮光部材間にサンプルを支持するステージと、前記ステージと前記対物レンズとを光軸方向に相対的に移動させて合焦動作を行わせる合焦機構と、前記測定用光源が発生する前記照明光のうち測定波長の光のみを選択的に取り出す第1フィルタと、前記合焦機構が発生する焦点検出波長の光が前記光検出器に入射するのを防止する第2フィルタとを備えることを特徴とする透過率測定装置。