特許
J-GLOBAL ID：200903078191469059
研磨ヘッド
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-033748
公開番号（公開出願番号）：特開平7-241765
出願日： 1994年03月03日
公開日（公表日）： 1995年09月19日
要約：
【要約】【目的】 研磨加工、特に工具の上下方向の動きが自重の影響を受ける研磨加工に使用して、一つの研磨ヘッドで高荷重負荷による粗加工から低荷重負荷による仕上げ加工までを行う研磨ヘッドを提供する。【構成】 高荷重負荷用の剛性の高い第1直進部の内部に低荷重負荷用の軽量高応答の第2直進部を設置し、粗加工時には第2直進部を第1直進部に索合して高荷重の研磨に対応し、仕上げ加工時には逆に第1直進部を研磨ヘッド本体に固定し、第2直進部のみを進退自在として応答性の高い研磨に対応する。
請求項（抜粋）：
工具が上下方向に動き、該工具の動きが自重の影響を受ける研磨ヘッドにおいて、第1直進案内部と、該第1直進案内部内に進退移動自在に配設された第1直進部と、前記第1直進部を駆動する第一直進駆動系と、前記第1直進部内側を第2直進案内部として用い、該第2直進案内部内に進退移動自在に配設された第2直進部と、該第2直進部を駆動する第2直進駆動系とを備え、第1直進部を駆動する時には、第1直進部と第2直進部を索合し、第2直進部を駆動する時には、第1直進案内部と第1直進部を索合することを特徴とする研磨ヘッド。
IPC (2件)：
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