多層薄膜の膜厚検出方法および装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小林将高
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-089517
公開番号（公開出願番号）：特開平7-294220
出願日： 1994年04月27日
公開日（公表日）： 1995年11月10日
要約：

【要約】【目的】多層薄膜の膜厚検出を高速、かつ高精度に検出可能とする。【構成】試料10に白色光源1から白色光を光ファイバ2を介して照射し、試料10より反射した光を光ファイバ3を介して分光器4に入射させて分光し、そのスペクトルを高速フーリエ変換してエネルギースペクトルをマルチチャネルディテクタ5から得た後、信号処理器7で信号処理して多層薄膜の膜厚を得る構成を特徴としている。

請求項（抜粋）：

多層薄膜試料に白色光を照射し、該試料より反射した光を分光し、そのスペクトルを高速フーリエ変換してエネルギースペクトルを得、その波形を処理して薄膜の膜厚を得ることを特徴とする多層薄膜の膜厚検出方法。

引用特許：

審査官引用 (14件)

特開平2-287106
特開平4-066806
特開平4-066806

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