特許

J-GLOBAL ID：200903078201530681

パターン欠陥検査装置

発明者： 山口 敏広
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 舘野 千惠子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-106046
公開番号（公開出願番号）：特開2002-303588
出願日： 2001年04月04日
公開日（公表日）： 2002年10月18日
要約：

【要約】【課題】 色むらによる疑似欠陥検出を減少させ実欠陥検出の感度を向上させることのできるパターン欠陥検査装置を提供する。【解決手段】 被検査パターンの濃淡画像信号を検出しデジタル画像信号に変換するA/D変換器2と、比較する二枚の画像の一方を画素の単位でずらしながら濃淡差を演算する画素単位位置合わせ部11と、微小に区切られた局所の隣接部分から得られた信号を比較する局所比較部20と、このときの信号差がないとき0を出力するデータ変換部21と、該データ変換部21の出力に基づいて左右の全パターンの信号比較を行う比較部14とを備える。

請求項（抜粋）：

被検査パターンの濃淡画像信号を検出しデジタル画像信号に変換するA/D変換手段と、比較する二枚の画像の一方を画素の単位でずらしながら濃淡差を演算する画素単位位置合わせ手段と、微小に区切られた局所の隣接部分から得られた信号を比較する局所比較手段と、このときの信号差がないとき0を出力するデータ変換手段と、該データ変換手段の出力に基づいて左右の全パターンの信号比較を行う比較手段とを備えたことを特徴とするパターン欠陥検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/956 ,  G01B 11/30 ,  H01L 21/66

FI (3件)：

G01N 21/956 A ,  G01B 11/30 A ,  H01L 21/66 J

Fターム (34件)：

2F065AA02 ,  2F065AA49 ,  2F065AA56 ,  2F065BB02 ,  2F065CC19 ,  2F065CC25 ,  2F065DD04 ,  2F065FF04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065MM03 ,  2F065MM04 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ04 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ33 ,  2F065RR02 ,  2F065UU05 ,  2G051AA51 ,  2G051AB11 ,  2G051BB11 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051DA07 ,  2G051EA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EA12 ,  2G051ED07 ,  4M106AA01 ,  4M106CA39 ,  4M106DJ11 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ19