特許
J-GLOBAL ID：200903078219830712
ペリクルの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-195835
公開番号（公開出願番号）：特開平10-039492
出願日： 1996年07月25日
公開日（公表日）： 1998年02月13日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 ペリクルの製造方法における不要膜除去工程において、ペリクル膜上やペリクルフレーム上に、シミや汚れを発生させることなく、かつ発塵による異物を発生させることなく、不要膜を切断除去することができるペリクルの製造方法を提供する。【解決手段】 ペリクルフレームにペリクル膜を接着し、ペリクル接着面外周部に沿ってペリクルフレームを加熱して不要膜を切断除去することを特徴とするペリクルの製造方法。
請求項（抜粋）：
ペリクルフレームにペリクル膜を接着し、ペリクル接着面外周部に沿ってペリクルフレームを加熱して不要膜を切断除去することを特徴とするペリクルの製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F 1/14 J
, H01L 21/30 502 P
