特許
J-GLOBAL ID：200903078220481756
硬度測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
樺山 亨 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-023990
公開番号（公開出願番号）：特開平5-223719
出願日： 1992年02月10日
公開日（公表日）： 1993年08月31日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】測定試料の硬度や表面状態に応じて、適切な硬度測定を実現する。【構成】オートフォーカス手段を制御するオートフォーカスプログラムとしてピーク検出モードと積分モードとを選択可能にするとともに、オートフォーカスのオフセット調整を行なうパラメータOと、上記移動ステージにおける少なくともZ方向の移動に対して、ステージ位置を制御するパラメータJ,S,B、ステージの移動を制御するパラメータTL,TH,APを、それぞれが変更可能および/または複数値設定可能にする。
請求項（抜粋）：
測定試料に所定の圧力で四辺形形状の圧痕を印し、この圧痕の対角線長を測定することにより測定試料の硬度を特定する装置であって、測定試料を支持し、互いに直交するX,Y,Z方向へ平行移動させるための移動ステージと、上記Z方向と平行に設定された所定の基準軸上に配備された2次元の撮像素子と、所定の回転軸の周りに回転可能で、且つ上記Z方向に変位可能であり、1以上の対物レンズと圧痕形成用の圧子とを上記回転軸から所定距離離れた位置に配備され、上記回転軸の回りの回転により、所望の圧痕もしくは対物レンズを上記基準軸位置に設定させるレボルバーと、上記撮像素子とレボルバーの間に配備され、上記基準軸上に設定された対物レンズを介して、測定試料を照明する照明系と、上記レボルバーを上記回転軸の周りに回転させて、対物レンズと圧子の選択を行ない、上記圧子が選択されたとき、選択された圧子を上記回転軸方向に変位させて測定試料に圧痕を印すためのレボルバー・圧子駆動手段と、上記レボルバーの対物レンズが選択されたとき、選択された対物レンズによる測定試料像を撮像素子の受光面上に結像させるためのオートフォーカス手段と、上記撮像素子の受光状態を表示するディスプレイ手段と、上記撮像素子の出力に応じて所定の演算により測定試料の硬度を算出するとともに、上記移動ステージ、撮像素子、レボルバー、照明系、レボルバー・圧子駆動手段、ディスプレイ手段およびオートフォーカス手段を制御する制御・演算手段とを有し、上記制御・演算手段が、オートフォーカス手段を制御するオートフォーカスプログラムとしてピーク検出モードと積分モードとを選択可能に有するとともに、オートフォーカスのオフセット調整を行なうパラメータ:Oと、上記移動ステージにおける少なくともZ方向の移動に対して、ステージ位置を制御するパラメータ:J,S,B、ステージの移動を制御するパラメータ:TL,TH,APここに、J:ステージ移動の最小単位(1ユニット)を設定するパラメータ,S:1ユニットのステージ移動の間に行なうべきサンプリング回数を設定するパラメータ,B:バックラッシュ除去のための動作量を設定するパラメータ,TL:ステージを起動するときのステージ駆動パルスを設定するパラメータTH:起動されたステージが加速され、等速移動するときのステージ駆動パルスを設定するパラメータAP:ステージを起動してから等速移動状態に到るまでの加速期間を設定するパラメータを、それぞれが変更可能および/または複数値設定可能に有することを特徴とする硬度測定装置。
引用特許：
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