特許
J-GLOBAL ID:200903078221943460

X線検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴木 知 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-044645
公開番号(公開出願番号):特開2000-241367
出願日: 1999年02月23日
公開日(公表日): 2000年09月08日
要約:
【要約】【課題】 検査対象の欠陥をより確実に検査することができるX線検査装置を提供する。【解決手段】 搬送コンベヤ12の検査位置には、製品10に上方からX線を照射するX線照射部14と、製品10に側方からX線を照射するX線照射部16が設けられている。搬送コンベヤ12の検査位置の下部には、X線照射部14からのX線による製品10の透過像を撮像するX線撮像部18が設けられ、搬送コンベヤ12の検査位置の側方には、X線照射部16からのX線による製品10の透過像を撮像するX線撮像部20が設けられている。画像処理部28は、X線撮像部18、20により撮像された製品10の画像を処理して検査を行う。
請求項(抜粋):
検査対象に対して第1の方向からX線を照射する第1のX線照射部と、前記第1のX線照射部から照射されたX線により前記検査対象を撮影する第1のX線撮影部と、前記検査対象に対して前記第1の方向とは異なる第2の方向からX線を照射する第2のX線照射部と、前記第2のX線照射部から照射されたX線により前記検査対象を撮影する第2のX線撮影部とを有することを特徴とするX線検査装置。
Fターム (17件):
2G001AA01 ,  2G001AA10 ,  2G001BA11 ,  2G001CA01 ,  2G001DA01 ,  2G001DA06 ,  2G001GA06 ,  2G001GA08 ,  2G001HA13 ,  2G001JA01 ,  2G001JA09 ,  2G001JA13 ,  2G001KA03 ,  2G001LA01 ,  2G001PA01 ,  2G001PA06 ,  2G001PA11

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