フィルターシート及び該フィルターシート使用のホトレジスト組成物精製法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：ウオーレン・ジー・シミオール
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-509130
公開番号（公開出願番号）：特表2000-516133
出願日： 1997年07月30日
公開日（公表日）： 2000年12月05日
要約：

【要約】内部に固定した微粒ろ過助剤と微粒イオン交換樹脂粒子を有する自立繊維マトリックスからなり、その微粒ろ過助剤と微粒イオン交換樹脂粒子が自立繊維マトリックスの横断面全体に実質的に均一に分散されているフィルターシートが提供される。そのフィルターシートにホトレジスト溶液を通過させてイオン不純物を除去することからなるホトレジスト溶液からのイオン不純物の除去法も提供される。

請求項（抜粋）：

内部に固定した微粒ろ過助剤と微粒イオン交換樹脂粒子を有する自立繊維マトリックスからなり、前記微粒ろ過助剤と微粒イオン交換樹脂粒子が前記マトリックスの横断面全体に実質的に均一に分散されていることを特徴とするフィルターシート。

IPC (3件)：

B01D 39/14 , B01J 20/26 , B01J 39/20

FI (3件)：

B01D 39/14 L , B01J 20/26 C , B01J 39/20 F

引用特許：

審査官引用 (9件)

特開昭56-112549
特開昭55-039277
特開昭63-263099

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