特許

J-GLOBAL ID：200903078233776380

圧力検出装置

発明者： 楠山 幸一 ,  塚田 正夫
出願人/特許権者： 株式会社ユニシアジェックス
代理人 (1件)： 広瀬 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-256264
公開番号（公開出願番号）：特開2001-083029
出願日： 1999年09月09日
公開日（公表日）： 2001年03月30日
要約：

【要約】【課題】 薄肉部のうちダイヤフラム部を取囲む外縁部の両面側を等圧に保持することにより、外縁部用の補強構造を省略して基板の小型化を図る。【解決手段】 基板12の薄肉部15上には、ダイヤフラム部15Aを外縁部15Bの内側で取囲む枠状突部16を設け、この枠状突部16上に閉塞板17を接合する。そして、ケーシング1の受圧膜4に加わる被測定圧を液体5によって基板12の両面側に伝える。これにより、ダイヤフラム部15Aを受圧凹溝13側と圧力室18側との間の差圧に応じて撓み変形させると共に、外縁部15Bの両面側を液体5によって等圧に保持する。この結果、例えば枠状突部16の外形を薄肉部15よりも大きく形成して外縁部15Bを補強する必要がなくなり、基板12を小型化することができる。

請求項（抜粋）：

シリコン材料からなる基板と、該基板の裏面側に受圧凹溝を形成することにより該基板の表面側に設けられた薄肉部と、該薄肉部の一部を枠状に取囲んで前記基板の表面側に設けられ取囲まれた内側をダイヤフラム部とする枠状突部と、該枠状突部上に接合して設けられ前記ダイヤフラム部を閉塞して基準圧力を与える圧力室を画成する閉塞板と、前記ダイヤフラム部に位置して前記薄肉部に設けられ前記受圧凹溝と圧力室との間の差圧によって前記ダイヤフラム部が変形するときの撓みを検出する撓み検出素子とからなる圧力検出装置において、前記薄肉部には、前記枠状突部によって取囲まれた部位よりも外側を外縁部として当該外縁部の表面側に前記受圧凹溝内と等しい圧力を加える構成としたことを特徴とする圧力検出装置。

IPC (2件)：

G01L 9/04 101 ,  H01L 29/84

FI (2件)：

G01L 9/04 101 ,  H01L 29/84 B

Fターム (25件)：

2F055AA40 ,  2F055BB05 ,  2F055CC02 ,  2F055DD05 ,  2F055EE14 ,  2F055FF43 ,  2F055FF49 ,  2F055GG12 ,  2F055GG25 ,  2F055HH05 ,  4M112AA01 ,  4M112BA01 ,  4M112CA12 ,  4M112CA16 ,  4M112DA02 ,  4M112DA10 ,  4M112DA18 ,  4M112EA03 ,  4M112EA04 ,  4M112EA06 ,  4M112EA07 ,  4M112EA15 ,  4M112FA08 ,  4M112FA11 ,  4M112GA01