特許
J-GLOBAL ID：200903078237031215
電子銃のバイアス設定方法及びその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柏谷 昭司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-247470
公開番号（公開出願番号）：特開平8-111195
出願日： 1994年10月13日
公開日（公表日）： 1996年04月30日
要約：
【要約】【目的】 電子銃のバイアス設定方法及びその装置に関し、人手を要することなくより好適な電子ビーム電流密度及び電子ビーム放射角分布を短時間で得る。【構成】 フィラメント加熱電流及びエミッション電流を初期設定値から変化させた場合の電子ビーム電流密度及び電子ビーム放射角分布を測定すると共に、測定結果を記憶手段に記憶する工程を予め設定されたサイクル毎に行い、1サイクルが終了する毎にこの記憶した測定結果と予め設定した電子ビーム電流密度値及び電子ビーム放射角分布値の最適値及び許容範囲値の条件とを比較判定することにより、設定した条件の範囲内で良であると判定した場合には測定を終了して、良であると判定した測定値を得た場合のバイアス条件にバイアスを変更する。
請求項（抜粋）：
電子銃のバイアス設定方法において、フィラメント加熱電流及びエミッション電流を初期設定値から変化させた場合の電子ビーム電流密度及び電子ビーム放射角分布を測定したのち、前記測定結果を記憶手段により記憶させる工程を予め設定されたサイクル毎に行うと共に、1サイクルが終了する毎に前記記憶した測定結果と予め設定した前記電子ビーム電流密度値及び電子ビーム放射角分布値の最適値及び許容範囲値の条件とを比較判定することにより、比較結果が前記設定した条件の範囲内で良であると判定した場合には測定工程を終了して、前記良であると判定した測定値を得た時のバイアス条件に前記電子銃のバイアスを変更してバイアス設定工程を終了し、良と判定しない場合には、前記初期設定値を更に変更して、この変更値を新たな初期設定値として上記の測定及び比較・判定サイクルを前記設定した条件が満足されるまで繰り返すことを特徴とする電子銃のバイアス設定方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/30 516
, H01L 21/30 541 B
