特許
J-GLOBAL ID：200903078237118523
基板搬送装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-249617
公開番号（公開出願番号）：特開平8-115967
出願日： 1994年10月14日
公開日（公表日）： 1996年05月07日
要約：
【要約】【目的】 搬送装置のハンドの向きを代える回数を減少せしめることによって搬送に必要な時間を短縮すること。【構成】 搬送ロボットRbは、そのピンセットの向きをポジションBからポジションCへ移動させて基板SB1をポジションCに移載し、ピンセットの向きをポジションCからポジションAへ移動させて基板SC1をポジションAに移載し、ピンセットの向きをポジションAからポジションBへ移動させて基板SA1をポジションBに移載する。よって、搬送ロボットRbは、その循環搬送に際してピンセットの向きをポジションB→ポジションC→ポジションA→ポジションBと計3回だけ変えるだけで足り、各ポジションA、B、Cにある基板SA1、SB1、基板SC1を予め他のポジションに移送しておく必要がなくなるので、搬送に必要な時間を短縮することができる。
請求項（抜粋）：
基板を複数の位置に順次搬送する基板搬送装置において、単一の基板を保持して搬送する搬送ロボットと、各位置に複数段に積層され、基板をそれぞれ保持可能な基板保持ステージと、を有することを特徴とする基板搬送装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, G02F 1/1333 500
, H01L 21/027
