特許

J-GLOBAL ID：200903078248716422

光学式ガスセンサ

発明者： 内山 博幸 ,  寺野 昭久 ,  中村 晃之
出願人/特許権者： 日立電線株式会社
代理人 (1件)： ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-239328
公開番号（公開出願番号）：特開2007-057233
出願日： 2005年08月22日
公開日（公表日）： 2007年03月08日
要約：

【課題】金属酸化膜と触媒金属膜の多層構造から構成される光学式ガスセンサにおいて、従来の単体触媒金属膜の検知応答性の遅さを改善すること。【解決手段】従来の単体触媒金属膜をパラジュウムPdとルテニュウムRu、パラジュウムPdと白金Pt、あるいはパラジュウムPdとロジュウムRhの組み合わせから成る合金または2層構造金属触媒膜とする。これにより、検知ガス曝露時間に対する光学特性変化がほぼ一次関数で表現される効果を利用し、単位時間当たりの光学変化を検知に利用する。これにより、従来吸着平衡に達する迄の時間(約200秒)が必要であった検知応答性を0.1〜1秒以内の高速検知に改善可能となる。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

支持基板上に形成された三酸化タングステンWO3または五酸化バナジュウムV2O5のいずれかの金属酸化膜よりなる検知膜と、前記検知膜に接するように形成されたパラジュウムPdとルテニュウムRu、パラジュウムPdと白金Pt、あるいはパラジュウムPdとロジュウムRhのいずれかの組み合わせから成る2層金属触媒膜とを備える光学式ガスセンサ。

IPC (2件)：

G01N 21/77 ,  G01N 21/78

FI (2件)：

G01N21/77 A ,  G01N21/78 Z

Fターム (13件)：

2G054CA04 ,  2G054CE08 ,  2G054EA04 ,  2G054EA05 ,  2G054EA07 ,  2G054EB10 ,  2G054FA16 ,  2G054FA21 ,  2G054FA27 ,  2G054FA33 ,  2G054GA01 ,  2G054GE07 ,  2G054JA01

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特開昭60-039536号公報
  
• 特開昭62-257047号公報