特許
J-GLOBAL ID：200903078250869929
インテリジェント試料ホルダ及びそれを利用した荷電ビーム装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
春日 讓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-063945
公開番号（公開出願番号）：特開平5-266849
出願日： 1992年03月19日
公開日（公表日）： 1993年10月15日
要約：
【要約】【目的】 荷電粒子線を試料に照射し試料を加工もしくは観察する荷電ビーム装置に装着され、複数の真空室へ試料と共に移動する試料ホルダにおいて、真空室外の制御装置から、試料に複数の電気信号を様々な時系列のパターンで印加できる試料ホルダを実現する。【構成】 インテリジェント試料ホルダ1にはウエハ2が搭載され、ホルダ1の内部には、受光素子58を有する受信回路4、制御回路5、バッテリ3が配置されている。ウエハ2の所望の位置にはプローブ8が接触されている。このプローブ8は、プローブ位置調整ブロック7に支持され、このブロック7は、アーム6に配置されている。真空室外の制御装置から受信回路4を介して時系列パターン指令信号が制御回路5に供給される。制御回路5は供給された指令信号に従って電圧信号をプローブ8を介してウエハ2に供給する。
請求項（抜粋）：
荷電粒子線を試料に照射し試料を加工もしくは観察する荷電ビーム装置に装着され、複数の真空室へ試料と共に移動する試料ホルダであって、真空室外の制御装置との通信手段と、この通信手段からの指令に基づいて試料を駆動制御する制御手段と、を備えたことを特徴とするインテリジェント試料ホルダ。
IPC (4件)：
H01J 37/20
, H01J 23/12
, H01J 37/28
, H01L 21/66
