放射線厚さ計

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山口巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-248439
公開番号（公開出願番号）：特開平6-102031
出願日： 1992年09月18日
公開日（公表日）： 1994年04月12日
要約：

【要約】【目的】放射線厚さ計において、材質補正近似計算を行う演算装置の適応材質範囲を拡張し、近似演算の精度を向上し、一台の厚さ計が精度良く取扱える測定可能な材質と厚さの範囲を拡大する。【構成】測定対象の材質の吸収係数μi の値を格納しておく吸収係数メモリ9と、各吸収係数μi のもとで校正用サンプル試料の実測によって求めたサンプルの厚さを補正するための補正係数ai ,bi を対にして格納しておくサンプルデータメモリ7よりなり、この格納場所から測定対象物の材質iに対応した吸収係数μi と補正係数ai ,bi を選定して厚さの1次近似値t0 を演算する厚さ1次近似演算器1および1次近似値t0 に対して補正演算を実行するサンプル補正乗算器五aならびに加算器5bへ、それぞれ吸収係数μi および補正係数aiならびにbi の値を分配するサンプル種類設定器8から構成する。更に、サンプル補正加算器の出力に対して線形1次の補正演算を行う材質補正演算器3と、この材質補正演算器に補正係数の値H0 を設定する材質補正設定器4を付加して構成する。

請求項（抜粋）：

検出器よりの放射線の透過強度に相当する測定信号を演算処理して測定対象物の厚さを近似演算する厚さ1次近似値演算器(1)と、測定対象物の材質の種類に対応した吸収係数(μi )を記憶しておく吸収係数メモリ(9)と、材質の種類毎に用意した厚さ既知の複数の校正用試料の測定によって求めた補正係数(ai ,bi )を記憶しておくサンプルデータメモリ(7)と、測定対象物の材質の種類(i)を設定するサンプル種類設定器(8)と、設定器(8)により設定された材質の種類(i)に応じた吸収係数(μi )を吸収係数メモリ(9)から読みだして厚さ1次近似値演算器(1)に入力する吸収係数レジスタ(2)と、設定器(8)により設定された材質の種類(i)に応じた補正係数(ai ,bi )を前記サンプルデータメモリ(7)から読みだして格納しておくサンプル演算レジスタ(6a,6b)と、厚さ一次演算器(1)の演算出力をサンプル演算レジスタ(6a,6b)に読みだされた材質の種類(i)に応じた補正係数(ai ,bi )によって補正する補正演算器(5a,5b)と、補正演算器(5a,5b)の補正演算出力を、指定材質の吸収係数の値と実際の測定対象物の吸収係数の値の間に差が有る場合の吸収補正係数(H0 )により補正して前記測定対象物の厚さを求める材質補正演算器(3)と、を備えたことを特徴とする放射線厚さ計。

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