特許
J-GLOBAL ID：200903078258450935
ウェーハのセンタリング装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
落合 稔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-294386
公開番号（公開出願番号）：特開平7-124854
出願日： 1993年10月29日
公開日（公表日）： 1995年05月16日
要約：
【要約】【目的】 ウェーハのセンタリングが精度良くかつ簡単に行えるセンタリング装置を提供する。【構成】 ウェーハが受容可能で、かつモータによって水平面内で回動可能な回転リングを有し、この回転リング内周近傍には、水平面内で回動可能で、かつウェーハ外周部に対して接離可能な接触子が少なくとも3個設けられ、前記回転リングの回動と前記接触子の回動とが連動して行われるように、前記回転リングと前記接触子とが歯車機構によって連結されていることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
ウェーハが受容可能で、かつモータによって水平面内で回動可能な回転リングを有し、この回転リング内周近傍には、水平面内で回動可能で、かつウェーハ外周部に対して接離可能な接触子が少なくとも3個設けられ、前記回転リングの回動と前記接触子の回動とが連動して行われるように、前記回転リングと前記接触子とが歯車機構によって連結されていることを特徴とするウェーハのセンタリング装置。
IPC (4件)：
B24B 9/06
, B23Q 3/18
, B24B 41/06
, H01L 21/304 321
