特許
J-GLOBAL ID：200903078258600830
単結晶の製造装置および製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
八田 幹雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-041565
公開番号（公開出願番号）：特開平6-256086
出願日： 1993年03月02日
公開日（公表日）： 1994年09月13日
要約：
【要約】【目的】 単結晶インゴット引上げ時の単結晶の熱履歴を調節して、各種品質の単結晶を作り分けることができ、かつ得られる単結晶インゴットの品質を全長にわたり均質なものとする。【構成】 坩堝中の融液から単結晶インゴットを育成しながら引上げるのに用いられる単結晶製造装置において、前記坩堝を配置してなる加熱チャンバ部とこの加熱チャンバ部から引上げ軸方向に沿って上方へ延長された前記加熱チャンバ部よりも内径の小さな引上げチャンバ部とを有してなるチャンバの、前記加熱チャンバ部を前記引上げ軸方向に伸縮可能とするために、加熱チャンバ部の壁面の一部に可変機構を設ける。
請求項（抜粋）：
坩堝中の融液から単結晶インゴットを育成しながら引上げるのに用いられる単結晶製造装置であって、前記坩堝を配置してなる加熱チャンバ部とこの加熱チャンバ部から引上げ軸方向に沿って上方へ延長された前記加熱チャンバ部よりも内径の小さな引上げチャンバ部とを有してなるチャンバの、前記加熱チャンバ部を前記引上げ軸方向に伸縮可能とするために、加熱チャンバ部の壁面の一部に可変機構を設けたことを特徴とする単結晶の製造装置。
IPC (3件)：
C30B 15/00
, C30B 15/14
, H01L 21/208
