特許

J-GLOBAL ID：200903078262226985

位相シフト回折格子及びその製造方法

発明者： 石井 哲也
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 篠原 泰司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-316558
公開番号（公開出願番号）：特開平5-150108
出願日： 1991年11月29日
公開日（公表日）： 1993年06月18日
要約：

【要約】【目的】 所望の位相シフト性能を有すると共に、回折格子パターンの形成工程と位相シフト領域の形成工程とが分離された簡易な製造工程で製造でき得る構造の位相シフト回折格子と、その製造方法を提案する。【構成】 回折格子面上の少なくとも1箇所の領域(領域II)において、回折格子の厚さ方向の光路長(D)を、所望の位相シフト量に相当する、所定量(δD)だけ変化させる。又、光路長を変化せしめる手段として、エッチング又は堆積によって該領域の厚さを変化させる手段、或いは該領域にイオン打ち込み屈折率を変化させて実効的に光路長を変化せしめる手段を利用する。

請求項（抜粋）：

回折格子面上の少なくとも1箇所の領域において、該回折格子の厚さ方向の光路長を所定量変化させたことを特徴とする位相シフト回折格子。